比例弁制御式熱式ガス質量流量計

動作電源

DC24V/12W

精度 (%)

制御精度：±1.0%SP、測定精度：1%fs

制御範囲と測定範囲の比率

1:100

バルブの種類

ノーマルクローズタイプ

動作温度

-10～55℃

湿度

<95%RH (霜、氷、結露のないこと)

流量仕様

(0～10、20、30、50、100、200、300、500)SCCM

(0~1、2、3、5、10、20、30)SLM

(0～50、100)SLM

(0-200、300)SLM

使用圧力範囲

測定：0～1.5MPa

制御：10SCCM-30SPLM 圧力：0.1～1.0MPa

100SPLM圧力：0.1～0.65MPa

300SPLM 圧力：0.1～0.5MPa

一般的な制御応答時間

1.5秒未満(T90)

応答時間を測定する

<50ms

出力方法

4～20mA（1～5V）、0～5V、0～10Vをカスタマイズ可能です。

通信方法

RS485 (Modbus RS485 プロトコル)

制御方法

ボタン操作、Modbus、4-20mA (1-5V)、0-5V、0-10V をカスタマイズできます。

機械的接続

G1/4、PT1/2 雌ねじ。他のスレッドはカスタマイズできます。

保護レベル

IP40

選べる標準温度条件

0°、20°、25°、ユーザーが調整可能、デフォルトは 25°

選べるガス種

空気、N2、O2、CH4、Ar、CO2、He、H2、C3H8

通常の使用圧力差

0.1～0.8MPa、流量≦30SLM

0.1MPA～0.6MPA 30SLM < 流量仕様 <= 100SLM

0.1MPa -0.4MPa 100SLM＜流量仕様＜300SLM

従来にない作動圧力差

カスタマイズされたコンサルティングが可能